應(yīng)用說(shuō)明： 潔凈式環(huán)境內(nèi)，利用機(jī)械手臂高精度移栽與定位功能，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化設(shè)備的高效性能。 規(guī)格：MX170
應(yīng)用說(shuō)明： 潔凈式環(huán)境內(nèi)，利用機(jī)械手臂高精度移栽與定位功能，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化設(shè)備的高效性能。 規(guī)格：MX60
應(yīng)用說(shuō)明： 直接驅(qū)動(dòng)，剛性高，定位精度高達(dá)±1μ，應(yīng)用于激光檢測(cè)、掃描、光刻、晶圓探針、緊密機(jī)床等超高精度設(shè)備
應(yīng)用說(shuō)明： 直接驅(qū)動(dòng)，剛性高，定位精度高達(dá)±1μ，應(yīng)用于激光切割、激光雕刻、激光打標(biāo)，緊密機(jī)床、半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備等
