應用說明: 直接驅動,剛性高,定位精度高達±1μ,應用于激光檢測、掃描、光刻、晶圓探針、緊密機床等超高精度設備
應用說明: 直接驅動,剛性高,定位精度高達±1μ,應用于激光切割、激光雕刻、激光打標,緊密機床、半導體生產設備等